隨著微電子機械加工系統(tǒng)的日趨成熟而對于壓力、差壓、液位傳感器而言，其封裝的傳感器芯片本質將決定最終產品的性能與等級。以目前市場上廣泛采用的硅芯片技術而言，硅壓阻技術加工工藝成熟，但其信噪比特性與溫度特性有待提高；硅諧振技術加工工藝復雜過壓特性不好；本公司3351J系列單晶硅壓力變送器芯片采用高純度單晶硅材質，其材質特性優(yōu)于市場上通用的復合硅、擴散硅材料，芯片采用單晶硅雙梁懸浮式，結合了硅壓阻與硅諧振雙方特點，并從工藝上做出了優(yōu)化，實現(xiàn)精度佳、穩(wěn)定性好、低溫度影響、高過壓等性能，適用于工業(yè)過程控制、自動化制造、航天航空、汽車與船舶、醫(yī)療衛(wèi)生等多個領域。
一、單晶硅壓力變送器性能特點：
1、純度佳單晶硅材質，有效提高產品壽命及長期穩(wěn)定性
2、雙惠斯通電橋設計，“雙梁”電阻溫度特性互補，提高芯片抗干擾能力
3、LCD帶背光顯示數(shù)字表頭可以顯示壓力、百分比和電流及0~100%模擬指示
4、通過按鍵組合操作能實現(xiàn)調零和調滿功能，以及數(shù)據(jù)恢復功能，方便了現(xiàn)場調試
5、信號轉換、信號采集與處理及電流輸出控制采用了一體化專用集成電路（ASICS）使智能變送器具有穩(wěn)定、可靠、抗震等特點，并具有良好的互換性
二、單晶硅壓力變送器技術參數(shù)：
產品型號：SK3351JGP-單晶硅夾板式壓力變送器SK3351JTG-單晶硅直裝式壓力變送器
測量原理：單晶硅懸浮式
適用場合：水壓、油壓、氣壓、負壓
測量范圍：0~40MPa量程可選
測量精度：±0.25%；±0.1%；±0.075%
電源：DC10.5~45V
輸出：DC4~20mA+HART
三、單晶硅壓力變送器產品選型：